Ілюстрації, схеми та числа, що аналізують явища вибивання атомів матеріалу внаслідок взаємодії іонного променя з мішенню, і влучення частини цих атомів на КА-пастух з іонним променем.
Ілюстрації, схеми та числа, що аналізують явища вибивання атомів матеріалу внаслідок взаємодії іонного променя з мішенню, і влучення частини цих атомів на КА-пастух з іонним променем.
